| 主权项 |
1.一种图案形成方法,用以在一基板上形成图案,包 括下列步骤: a)从复数个出口将一图案化材料喷出至一基板之 一主表面; b)在步骤a)的同时,藉由相对于该基板朝一预定方 向移动该复数个出口以形成复数个线条图案元件, 每一线条图案元件沿着该主表面朝该预定方向延 伸;以及 c)在步骤b)的同时,在该复数个线条图案元件之每 一线条图案元件中形成复数个节部,每一节部朝一 垂直于该预定方向之方向延展,其中 在步骤c)中之形成该复数个线条图案元件中的每 一特定时间间隔下,以几乎相同时间,在该复数个 线条图案元件中形成以垂直于该预定方向之方向 来配置的复数个节部。 2.如申请专利范围第1项之图案形成方法,其中, 在步骤c)中藉由改变来自每一出口之图案化材料 的出口流速对该复数个出口相对于该基板之移动 速度的比率以形成该复数个节部。 3.如申请专利范围第2项之图案形成方法,其中, 在步骤a)中该图案化材料之出口流速系固定的,以 及 在步骤c)中周期性地改变该复数个出口之移动速 度。 4.如申请专利范围第2项之图案形成方法,其中, 在步骤b)中该复数个出口之移动速度系固定的,以 及 在步骤c)中周期性地改变该图案化材料之出口流 速。 5.如申请专利范围第1项之图案形成方法,其中, 该图案化材料包含一光硬化树脂;以及 在步骤c)中周期性地改变光对刚喷出至该基板之 图案化材料的照射强度。 6.如申请专利范围第5项之图案形成方法,其中, 在步骤c)中藉由实施对喷出至该基板之图案化材 料的光照射之开/关控制,以周期性地改变光之照 射强度。 7.一种图案形成装置,用以在一基板上形成图案,包 括: 一喷出部,用以从复数个出口将一图案化材料喷出 至一基板之一主表面; 一移动机构,用以在从该喷出部喷出该图案化材料 的同时,藉由相对于该基板朝一预定方向移动该喷 出部以形成复数个线条图案元件,每一线条图案元 件沿着该主表面朝该预定方向延伸,其中 节部存在于每一线条图案元件中,每一节部朝垂直 于该预定方向之方向延展,以及在形成该复数个线 条图案元件中之每一特定时间间隔下,以几乎相同 时间,在该复数个线条图案元件中形成以垂直于该 预定方向之方向来配置之复数个节部。 8.如申请专利范围第7项之图案形成装置,其中, 该复数个节部系藉由改变来自每一出口之图案化 材料的出口流速对该复数个出口相对于该基板之 移动速度的比率所形成。 9.如申请专利范围第8项之图案形成装置,其中, 该图案化材料之出口流速系固定的,以及 该复数个出口之移动速度系周期性地改变。 10.如申请专利范围第8项之图案形成装置,其中, 该复数个出口之移动速度系固定的,以及 该图案化材料之出口流速系周期性地改变。 11.如申请专利范围第7项之图案形成装置,其中, 该图案化材料包含一光硬化树脂;以及 该复数个节部系藉由改变光对刚喷出至该基板之 图案化材料的照射强度所形成。 12.如申请专利范围第11项之图案形成装置,其中, 光之照射强度系藉由实施对喷出至该基板之图案 化材料的光照射之开/关控制而周期性地改变。 13.如申请专利范围第7项之图案形成装置,其中, 该喷出部包括一与在一基板上之从每一出口所喷 出的图案材料之上面接触的构件,以限制该复数个 线条图案元件之高度。 14.如申请专利范围第8项之图案形成装置,其中, 该喷出部包括一与在一基板上之从每一出口所喷 出的图案材料之上面接触的构件,以限制该复数个 线条图案元件之高度。 图式简单说明: 图1系显示一图案形成装置之构造的图式; 图2系显示一喷出部之附近的图式; 图3系显示一喷嘴之一端部的附近之放大图; 图4系显示一用以在一基板上形成图案之操作流程 的流程图; 图5系显示相对于该基板之出口的移动速度的变化 及相对于一支撑部之该等出口位置的变化之曲线 图; 图6系显示在该基板上之复数个线条图案元件的平 面图; 图7系显示该等线条图案元件之纵向剖面图; 图8系以一具有条纹之图案来配置的线条图案元件 之平面图; 图9系显示一隔膜部之构造的图式; 图10系显示一用以在一基板上形成图案之操作流 程的流程图; 图11系显示在该基板上之复数个线条图案元件的 平面图; 图12系显示一照射强度变更部之图式;以及 图13系显示一用以在一基板上形成图案之操作流 程的流程图。 |
