细线抗蚀剂剥离方法

摘要

本发明涉及两步剥离方法，其包含下列剥离步骤：a)用含碱水溶液处理衬底，b)此后，用含有碱和至少一种选自由以下各物组成的群组的剥离增强剂的溶液进一步处理所述衬底：己二醇、乙二醇－乙醚、乙二醇－丁醚、乙二醇－异丙醚、丙二醇－甲醚、丙二醇－乙醚、丙二醇－丁醚、二乙二醇－甲醚、二乙二醇－乙醚、二乙二醇－丙醚、二乙二醇－丁醚、二丙二醇－甲醚、二丙二醇－乙醚、二丙二醇－丙醚、二丙二醇－丁醚、三乙二醇－甲醚、三乙二醇－乙醚、三乙二醇－丙醚、三乙二醇－丁醚、三丙二醇－甲醚、三丙二醇－乙醚、三丙二醇－丙醚、三丙二醇－丁醚、二乙二醇－异丙醚和丙二醇－甲醚乙酸盐。

主权项

1.一种用于去除衬底上光致抗蚀剂薄膜的方法，其包含下列步骤：a)用含碱水溶液处理所述衬底，b)此后，用含有碱和至少一种选自由由以下各物组成的群组的剥离增强剂的溶液进一步处理所述衬底：己二醇、乙二醇一乙醚、乙二醇一丁醚、乙二醇一异丙醚、丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、丙二醇一丁醚、二乙二醇一甲醚、二乙二醇一乙醚、二乙二醇一丙醚、二乙二醇一丁醚、二丙二醇一甲醚、二丙二醇一乙醚、二丙二醇一丙醚、二丙二醇一丁醚、三乙二醇一甲醚、三乙二醇一乙醚、三乙二醇一丙醚、三乙二醇一丁醚、三丙二醇一甲醚、三丙二醇一乙醚、三丙二醇一丙醚、三丙二醇一丁醚、二乙二醇一异丙醚和丙二醇一甲醚乙酸盐。