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发明名称
摘要
申请公布号
JP4088724(B2)
申请公布日期
2008.05.21
申请号
JP19970164977
申请日期
1997.06.05
申请人
发明人
分类号
H01L23/28;H01L23/48;H01L25/16;H01L33/58;H01L33/62;H01S5/00;H01S5/022
主分类号
H01L23/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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