发明名称
摘要
申请公布号 JP4088724(B2) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 JP19970164977 申请日期 1997.06.05
申请人 发明人
分类号 H01L23/28;H01L23/48;H01L25/16;H01L33/58;H01L33/62;H01S5/00;H01S5/022 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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