有机金属化合物

摘要

提供某些亚氨基络合物形式的有机金属化合物。这类络合物特别适合用作气相沉积的前体。还提供例如通过ALD和CVD，用所述化合物沉积薄膜的方法。

主权项

1.一种有机金属化合物，具有以下通式：(EDG-(CR1R2)y-N＝)nM+mL1 x′L2 x″L3 p，式中，R1和R2独立地选自H、(C1-C6)烷基和EDG；EDG是给电子基团；M＝金属；L1＝阴离子型配体；L2是选自氨基、烷基氨基、二烷基氨基和烷氧基烷基二烷基氨基的配体；L3＝中性配体；y＝0-6；m＝M的价数；n＝1-2；x’≥0；x”≥0；m＝2n+x’+x”；p＝0-3；其中，当m＝2-3时n＝1，当m≥4时n＝1-2；L1≠L2；条件是当m≥3且EDG＝氨基、烷基氨基、二烷基氨基、吡啶基或烷氧基时，x’≥1。