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发明名称 Precursors for silica or metal silicate films
摘要
申请公布号 EP1669361(B1) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 EP20050026611 申请日期 2005.12.06
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LEI, XINJIAN;RULKENS, RON
分类号 C23C16/40;C07F7/04 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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