PLASMABEHANDLUNG ZUR ENTFERNUNG VON POLYMEREN NACH DEM ÄTZEN EINES KONTAKTLOCHES,申请号DE20006038539-传众专利搜索

发明名称	PLASMABEHANDLUNG ZUR ENTFERNUNG VON POLYMEREN NACH DEM ÄTZEN EINES KONTAKTLOCHES
摘要
申请公布号	DE60038539(D1)	申请公布日期	2008.05.21
申请号	DE20006038539	申请日期	2000.09.21
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES INC.	发明人	RAKHSHANDEHROO, MOHAMMAD R.;CHANG, MARK S.;HUI, ANGELA T.
分类号	H01L21/311;H01L21/768	主分类号	H01L21/311
代理机构		代理人
主权项
地址