控制回蚀刻截面轮廓的方法和装置

摘要

一种控制回蚀刻截面轮廓的方法和装置。包括：对第一介电层进行第一蚀刻，形成第一介层洞和第二介电层；用BARC材料填充第一介层洞，形成第一BARC层；对第一BARC层进行第二蚀刻，形成第二BARC层。第二蚀刻在第二BARC层的第一圆周形区域具有第一蚀刻率，而在第二BARC层的第一区域具有第二蚀刻率。第一圆周形区域环绕于第一介层洞侧壁，第一区域环绕于第一介层的中心。第一蚀刻率大于第二蚀刻率，第一圆周形区域低于第一区域。对第二介电层进行第三蚀刻，形成一个沟槽和第三BARC层。该沟槽的槽底面上明显没有任何环绕于第三BARC层侧壁的尖刺。

主权项

1.一种制作电接触窗的开口的方法，此方法包括：对第一介电层进行第一蚀刻，形成第一介层洞和第二介电层；用BARC材料填充该第一介层洞，形成第一BARC层；对该第一BARC层进行第二蚀刻，形成第二BARC层，该第二蚀刻在该第二BARC层的第一圆周形区域具有第一蚀刻率，而在该第二BARC层的第一中央区域具有第二蚀刻率，该第一圆周形区域环绕于该第一介层洞侧壁，第一中央区域环绕于该第一介层洞的中心，该第一蚀刻率大于该第二蚀刻率，该第一圆周形区域低于该第一中央区域，该第二BARC层的第一上表面明显具有第一凸形；对该第二介电层进行第三蚀刻，形成一个沟槽和第三BARC层，该沟槽具有一个槽底面，该槽底面上明显没有任何环绕于该第三BARC层侧壁的尖刺，该第三BARC层的第二上表面明显具有第二凸形；去除该第三BARC层，形成第二介层洞。