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发明名称 METHOD FOR FLATTENING SURFACE OF OXIDE CRYSTAL TO ULTRA HIGH DEGREE
摘要
申请公布号 EP1380676(A4) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 EP20020705246 申请日期 2002.03.15
申请人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY 发明人 KOINUMA, HIDEOMI;MATSUMOTO, YUJI;SASAKI, TAKATOMO;MORI, YUSUKE;YOSHIMURA, MASASHI
分类号 C30B33/00;C30B33/10;(IPC1-7):C30B33/10;C30B29/22 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
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