一种金属线栅宽带偏振器及其制备方法

摘要

一种金属线栅偏振器及其制备方法，属于光学器件，目的在于具有高偏振光消光比和光通量，结构简单，工作波长范围宽。本发明的偏振器，在基板上沉积金属铝纳米线栅，基板为在紫外到红外波段均透明的光学材料；金属铝纳米线栅结构参数为：线栅周期长度40－80纳米，线栅占空比60％－40％，线栅厚度40－80纳米，层间距10－20纳米。本发明方法步骤为：清洗基板、基板表面沉积保护膜、旋涂光刻胶、在光刻胶表面形成纳米线栅结构、在保护膜上刻出纳米线栅结构、在基板上刻出纳米线栅结构、除去剩余保护膜、在基板垂直表面镀铝金属膜，形成平行条状纳米线栅。本发明宽带偏振器在300－5000nm波段范围的偏振消光比可达到33－70dB，偏振光透过率可达到68％－94％。

主权项

1.一种金属线栅宽带偏振器，在基板上沉积出平行条状金属铝纳米线栅，其特征在于：所述基板为在紫外到红外波段均透明的光学材料；所述金属铝纳米线栅的结构参数为：线栅周期长度40-80纳米，线栅占空比60％-40％，线栅厚度40-80纳米，层间距10-20纳米。