| 发明名称 |
SPATTERING DEVICE, METHOD OF FORMING THIN FILM BY SPATTERING, AND METHOD OF MANUFACTURING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM USING THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1496135(A4) |
申请公布日期 |
2008.05.21 |
| 申请号 |
EP20030715704 |
申请日期 |
2003.04.01 |
| 申请人 |
TDK CORPORATION |
发明人 |
KOSHIKAWA, MASATO;ISHIZAKI, HIDEKI;WATANABE, HIDEAKI;MATSUI, SATOSHI |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/04;G11B7/26;G11B11/105;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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