高纯氩气的制备装置和方法

摘要

本发明公开了一种高纯氩气的制备装置和方法。氩气的净化分为三步进行：第一级用碳质脱氧剂脱氧，第二级用分子筛脱除水、一氧化碳和二氧化碳等，而其分子筛可以自动再生，两级净化后除去氩气中85％以上杂质，第三级用合金吸气剂脱除N2和THC等，这样，一方面延长合金吸气剂寿命，另一方面可以使用廉价的3N级氩气作原料，从而降低生产成本。本发明具有设备简单、生产成本低的优点。

主权项

1.一种高纯氩气的制备装置，包括微机自动控制单元，其特征是：还具有，第一级净化塔TY：内装碳质脱氧剂，主要用于O2等杂质的脱除，塔内设置有电加热器，含量为99.9％的工业纯氩物流在200～320℃下脱除其中的杂质氧，并达到出口气中O2≤1ppm；换热器RJ1通过管道与第一级净化塔相连，将第一级净化塔的出口气降温至室温；第二级净化装置：用于在室温下除去杂质CO2和H2O，由两个并联的吸附塔XF1和XF2组成，塔内装填分子筛吸附剂、塔内设有用于分子筛再生加热的电加热器，两分子筛吸附塔XF1和XF2的进口管分别经电磁阀DF1和DF2后，再经总管与换热器RJ1出口相连，两吸附塔XF1和XF2的出口管分别串接高效过滤器GL1、电磁阀DF5以及高效过滤器GL2、电磁阀DF6后、再与总管L2相连；且GL1和GL2的出口之间由管路L3连通，管路L3上设置有电磁阀DF7；XF1和XF2的进口上分别接有放空管，两放空管上分别设置有电磁阀DF3和DF4；第三级净化塔HT：塔内装填金属吸气剂，塔内设有电加热器，塔的进口管与管路L2相连，塔的出口管上顺次设置有换热器、高效过滤器GL3。