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发明名称 METHODEN ZUR VERMINDERUNG DER ABHÄNGIGKEIT DES VERFAHRENS VON BEDINGUNGEN DER KAMMERWAND
摘要
申请公布号 DE60036215(T2) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 DE20006036215T 申请日期 2000.07.12
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 XU, SONGLIN;SUN, ZHIWEN;PODLESNIK, DRAGAN V;QIAN, XUEYU
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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