| 发明名称 |
Messanordnung und Verfahren zur Bestimmung von Polarisationseigenschaften einer refraktiven optischen Komponente |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102006031006(B4) |
申请公布日期 |
2008.05.21 |
| 申请号 |
DE200610031006 |
申请日期 |
2006.07.05 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
OCHSE, ANDREAS;SPANUTH, JENS;BAUMSTARK, HELGE |
| 分类号 |
G01N21/21;G01J4/00;G01J4/04;G01M11/02 |
主分类号 |
G01N21/21 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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