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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR GROWING SUBMICRON GROUP III NITRIDE STRUCTURES UTILIZING HVPE TECHNIQUES
摘要
申请公布号
EP1381718(A4)
申请公布日期
2008.05.21
申请号
EP20020721646
申请日期
2002.03.28
申请人
TECHNOLOGIES AND DEVICES INTERNATIONAL INC.
发明人
TSVETKOV, DENIS, V.;NIKOLAEV, ANDREY, E.;DMITRIEV, VLADIMIR, A.
分类号
C30B25/02;C30B25/08;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B28/12;C30B28/14
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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