METHOD FOR MANUFACTURING COMPOUND SEMICONDUCTOR WAFER AND COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号EP20030784504-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING COMPOUND SEMICONDUCTOR WAFER AND COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	EP1542288(A4)	申请公布日期	2008.05.21
申请号	EP20030784504	申请日期	2003.08.01
申请人	SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED;SUMIKA EPI SOLUTION COMPANY, LTD.	发明人	YAMADA, HISASHI;FUKUHARA, NOBORU
分类号	H01L21/205;H01L21/331;H01L29/737;(IPC1-7):H01L29/737	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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