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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM POLIEREN
摘要
申请公布号 DE60320227(D1) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 DE20036020227 申请日期 2003.02.20
申请人 EBARA CORP. 发明人 WADA, YUTAKA;AKATSUKA, TOMOHIKO;SASAKI, TATSUYA
分类号 H01L21/304;B24B7/22;B24B37/04;B24B49/12;B24B53/007;B24B53/02;C09G1/00;C09K3/14;H01L21/3105 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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