发明名称 |
半导体封装及其形成方法 |
摘要 |
提供在管芯粘接工艺期间防止来自背面金属层(118)的金渗入到焊料(164)中的半导体封装(100)及其制造方法。根据本发明的方法包括提供包括有多个金属焊盘(112)的半导体晶片叠层(110)。在基板(116)的表面(119)上形成粘附/镀层(115)。在粘附/镀层(115)的表面上镀上金层(118)。在划片道区域(124)中使用标准光刻技术蚀刻金层(118)以暴露金层(118)及粘附/镀层(115)的边缘部分(128)。沉积阻挡金属层(130)以在金层(118)及粘附/镀层(115)的暴露的边缘(128)的周围形成边缘密封(129)。在划片道区域(124)中切割半导体晶片叠层(110)并将其焊接到引线框架(162)以形成其提供边缘密封(128)以防止来自背面金属层(118)的金渗入到焊料(162)中的半导体封装(100)。 |
申请公布号 |
CN101185153A |
申请公布日期 |
2008.05.21 |
申请号 |
CN200680018216.4 |
申请日期 |
2006.03.24 |
申请人 |
飞思卡尔半导体公司 |
发明人 |
瓦西里·罗梅加·汤普森;贾森·芬德;特里·K·戴利;张镇旭 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L23/52(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
穆德骏;黄启行 |
主权项 |
1.一种制造半导体封装的方法,所述方法包括:提供半导体晶片叠层,其包括在基板的第一表面中形成的多个金属焊盘、在所述基板的相对的第二表面上形成的粘附/镀层以及在所述粘附/镀层的表面上上形成的金层;在所述半导体晶片叠层的划片道区域中蚀刻所述金层,其中蚀刻暴露出所述金层、所述粘附/镀层以及所述基板的多个边缘部分;在所述粘附/镀层及所述金层的所述暴露的边缘部分的周围形成边缘密封;在所述划片道区域中切割所述半导体叠层以限定半导体管芯;以及将所述管芯粘接至支撑结构。 |
地址 |
美国得克萨斯 |