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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR ION BEAM NEUTRALIZATION IN MAGNETS
摘要
申请公布号 KR100831442(B1) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 KR20057007885 申请日期 2005.05.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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