薄膜的线扫描顺序横向固化

摘要

一种多晶膜，其由以下步骤制造：a.提供其上配置有薄膜的基板，所述膜能够由激光引起熔融；b.产生一个激光脉冲序列，所述激光脉冲具有足以在被照射区域贯穿薄膜的厚度使薄膜熔融的通量，每个脉冲形成具有长度和宽度的线束，所述宽度足以实质上阻止在由所述激光脉冲照射的薄膜的部分内固体的核化；c.用第一激光脉冲照射所述膜的第一区域以形成第一熔融区，所述第一熔融区的宽度呈现沿其长度的改变，从而限定最大宽度(W_max)和最小宽度(W_min)，其中W_max小于约2×W_min，并且第一熔融区在冷却时被晶化以形成一个或多个横向生长的晶体；d.沿着横向生长方向将所述薄膜横向移动大于W_max的约一半而小于W_min的距离；以及e.用第二激光脉冲照射薄膜的第二区域以形成具有大致与第一熔融区的形状相同的形状的第二熔融区，其中第二熔融区在冷却时被晶化以形成一个或多个横向生长的晶体，该晶体是第一区中的一个或多个晶体的延长物。

主权项

1.一种用于制备多晶膜的方法，该方法包括以下步骤：a、提供其上配置有薄膜的基板，所述膜能够由激光引起熔融；b、产生一个激光脉冲序列，所述激光脉冲具有足以在被照射区域贯穿薄膜的厚度使薄膜熔融的通量，每个脉冲形成具有长度和宽度的线束，所述宽度足以实质上阻止在由所述激光脉冲照射的薄膜的部分内固体的核化；c、用第一激光脉冲照射所述膜的第一区域以形成第一熔融区，所述第一熔融区的宽度呈现沿其长度的改变，从而限定最大宽度Wmax 和最小宽度Wmin，其中Wmax小于约2×Wmin，并且第一熔融区在冷却时被晶化以形成一个或多个横向生长的晶体；d、沿着横向生长方向将所述薄膜横向移动大于Wmax的约一半而小于Wmin的距离；以及e、用第二激光脉冲照射薄膜的第二区域以形成具有大致与第一熔融区的形状相同的形状的第二熔融区，其中第二熔融区在冷却时被晶化以形成一个或多个横向生长的晶体，该晶体是第一区中的一个或多个晶体的延长物。