| 发明名称 |
HALBLEITERSCHEIBENBEHÄLTER, STRUKTUR ZUR AUFBEWAHRUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN UND METHODE ZUM BE- UND ENTLADEN DER HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69637489(D1) |
申请公布日期 |
2008.05.21 |
| 申请号 |
DE19966037489 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
ACHILLES CORP. |
发明人 |
NAKAMURA, AKIRA;FUYUMURO, MASAHIKO |
| 分类号 |
B65D85/86;H01L21/68;B65D85/38;H01L21/673 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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