| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING PHASE SHIFT MASK AND PHASE SHIFT MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1361478(A4) |
申请公布日期 |
2008.05.21 |
| 申请号 |
EP20020701556 |
申请日期 |
2002.02.15 |
| 申请人 |
DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. |
发明人 |
KOKUBO, HARUO |
| 分类号 |
G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/08;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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