电阻式微桥湿度感测结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种电阻式微桥湿度感测结构及其制造方法，电阻式微桥湿度感测结构包括：一基座、一感测部及二测量电极。基座两表面上分别成型有绝缘阻隔层，并具有一桥座；感测部一成型于桥座上的电阻感应层，及覆盖于其上的一湿度感测层；二测量电极成型于电阻感应层对应桥座结构的两端，而固定感测部两端于第一绝缘阻隔层上，以测量电阻感应层的电阻值。应用感测部的微桥式结构来感测环境中的水蒸气，使通过湿度感测层的材料可随湿度变化而改变体积，以翘曲由湿度感测层包覆的电阻感应层的长度，并利用电阻感应层材料可随长度改变而造成电阻值变化，再由二测量电极测出湿度值。

主权项

1.一种电阻式微桥湿度感测结构，其特征在于，包括：一基座，具有一第一表面及一第二表面，该第一表面上成型一第一绝缘阻隔层，该第二表面上成型一第二绝缘阻隔层，且该基座具有一开口自该第二绝缘阻隔层穿入，并在该第一绝缘阻隔层预留一桥座区域后贯穿该第一绝缘阻隔层而形成通孔；一感测部，其是一图案化成型于该桥座上的电阻感应层，该电阻感应层材料可随材料长度改变而造成电阻值变化，该电阻感应层上并覆盖有一湿度感测层，该湿度感测层的材料可随湿度变化而改变体积；以及至少二测量电极，成型于该感测部的电阻感应层两端，而固定该感测部于该第一绝缘阻隔层上，该二测量电极由导电金属或合金材料构成，以测量该电阻感应层的电阻值。