采用热交换法生长半球型晶体的装置及方法

摘要

一种采用热交换法生长半球型晶体的装置，其特征是，在半球形的坩埚外的底部接触连接电热交换器，在管状的热交换器内设置有输送气体的输气管。使用上述装置生长半球型晶体的方法，它主要包括下列步骤：(1)电阻加热器升温，使坩埚内原料熔化，同时在热交换器内通入氦气冷却籽晶；(2)通过控制加热器的功率和热交换器内氦气的流量，使坩埚内的原料能充分熔化成熔体，而籽晶不被熔化；(3)熔体的温度梯度由石墨加热器控制，晶体温度梯度由热交换器控制；增加热交换器的气体流量，降低籽晶的温度，晶体生长的固液界面以近球面的弧面向外扩展；(4)晶体生长完成后，晶体降温至室温，完成半球型晶体生长。

主权项

1.一种采用热交换法生长半球型晶体的装置及方法，它主要包括有一个筒形的石墨电加热器，在筒形的石墨电加热器的中部放置有一个半球形的坩埚，在筒形的石墨电阻加热器外部四周设置有保温层，其特征在于：坩埚的底部中央与一个管状的热交换器接触，热交换器内置有通向热交换器顶部输送气体的输气管。