| 摘要 |
ELETRODO NEGATIVO CILìNDRICO DE DEPOSIçãO FìSICA DE VAPOR A presente invenção proporciona um eletrodo negativo cilíndrico de deposição física de vapor (PVD) que compreende um material de evaporação cobrindo a superfície circunferencial externa de um substrato cilíndrico, o eletrodo negativo cilíndrico de PVD inclui uma parte de acoplamento dotada de pelo menos qualquer uma forma protuberante e uma forma rebaixada, formada com partes angulares arredondadas na interface entre o substrato e o material de evaporação. De acordo com essa estrutura, desfolhamento ou fissuramento do material de evaporação por parte de urna tensão residual provocada na interface entre o substrato e o material de evaporação por uma diferença de expansão térmica entre os dois pode ser suprimida, e pode-se assegurar também aderência suficiente entre os dois. |
