APPARATUS AND METHOD FOR ELID GRINDING A LARGE-DIAMETER WORKPIECE TO PRODUCE A MIRROR SURFACE FINISH,申请号KR20010033467-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR ELID GRINDING A LARGE-DIAMETER WORKPIECE TO PRODUCE A MIRROR SURFACE FINISH
摘要
申请公布号	KR100831148(B1)	申请公布日期	2008.05.20
申请号	KR20010033467	申请日期	2001.06.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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