| 摘要 |
本发明之硷性显影液系应用在感光性树脂对UV曝光后之图像形成,其组成物系包括有(A)纯水、(B)至少一种硷性化合物、(C)含量小于500ppm之消泡剂、(D)至少一种总含量0.05~10%之非离子界面活性剂;其中,非离子界面活性剂之结构式为:095140767P01.bmp其重点在于:非离子界面活性剂之结构式当中的R1为氢(-H)或甲烷(-CH3);EO为环氧乙烷(polyoxyethylene);PO为环氧丙烷(polyoxypropylene),m和n不可为同时为零、m+n小于25,R2为疏水基。 |
