吸附台及基板处理装置

摘要

本发明系抑制成本增多或涂布不良,并改善基板背面之大气循环。在基板处理装置之吸附台3之上面30形成格子状之开放沟34,开放沟34在吸附台3保持着基板90之状态下亦呈大气开放。在以开放沟34所区隔之保持部35的保持面36设有吸附孔37与吸附沟38,并使吸附孔37与吸附沟38连通,吸附沟38在吸附台3保持着基板90之状态下不呈大气开放。再者,使吸附孔37与排气机构连通。在吸附台3保持基板90之际,系从排气机构抽吸空气,藉由吸附孔37与吸附沟38吸附基板90之背面。