| 摘要 |
本发明之课题为:在网版印刷装置中,于使基板与遮罩位置定位之情形时,不依据基板种类而持有专用的位置定位标记,而将基板的图案作为位置定位标记之代用方法中,由于类似形状之图案的关系,由于错误辨识而成为位置定位不良的原因。本发明之解决手段,系作成具备:各个检测由形成于网版遮罩及基板表面之任意图案的一部份或全部所形成的图案之第1手段;及各个检测最终位置定位目标的图案各个的重心之第2手段;及藉由影像计测来运算藉由前述第1及第2手段所检测之图案的视窗中心与藉由前述第2手段所检测之图案各个的重心的偏差之运算手段;及依据藉由前述运算手段之运算结果,计算补正系数而予以登录之补正手段;及位置定位手段之构成。 |
