发明名称 工件搬运装置
摘要 本发明提供一种工件搬运装置。本发明之工件搬运装置系包含:用来保持可收容工件的万用托盘(T1)而可朝左右方向(Y)移动的万用托盘保持单元(10);与万用托盘保持单元(10)相邻并排列在前后方向(X)的后方,并且用来保持将工件搬入及搬出于处理区域(A4)的处理用托盘(T2),并可朝左右方向(Y)移动的处理用托盘保持单元(20);以及为了在万用托盘(T1)与处理用托盘(T2)之间转移工件,而可朝前后方向(X)及上下方向(Z)移动的工件移载单元(30)。藉此构成,由于万用托盘保持单元(10)及处理用托盘保持单元(20)系在XY面内朝Y方向移动,工件移载单元(30)系在XZ面内移动,因此可使工件的转移动作高速化,使生产性提升。
申请公布号 TW200821596 申请公布日期 2008.05.16
申请号 TW095141262 申请日期 2006.11.08
申请人 平田机工股份有限公司 发明人 平泽洋一;齐藤胜夫;筱崎洋二;大基裕;渡边敏彦
分类号 G01R31/26(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本