具有灯泡型凹状通道之半导体元件及其制法

摘要

一种用以制造一半导体元件之方法包括提供一具有一灯泡型凹状区域之基板,形成一闸极绝缘层于该灯泡型凹状区域及该基板上,以及形成一闸极导电层于该闸极绝缘层上。该闸极导电层填充该灯泡型凹状区域。该闸极导电层包括两层或更多导电层及一在该等导电层间之非连续界面。