图案描绘装置

摘要

本发明系提供一种即使于部分的光照射机构发生异常之情形亦可继续进行描绘处理之图案描绘装置。本发明之图案描绘装置1,使用CCD摄影机41拍摄复数之光学头32a、32b、…、32g之照射光,并基于其拍摄结果判定于各光学头32a、32b、…、32g是否发生异常。然后,图案描绘装置1以其他光学头对判定为异常之光学头所负责的描绘区域进行补充描绘。因此,即使于部分之光照射机构发生异常之情形亦可继续进行描绘处理,从而可使装置之作业率提高。