氧感测器及具备其之内燃机以及输送机

摘要

本发明提升使用含铈氧化物之电阻式氧感测器之检测精度。本发明之氧感测器系电阻式氧感测器,其包含氧化物半导体层11、及检测氧化物半导体层11之电阻率之检测电极12。氧化物半导体层11包含由含铈氧化物所形成之氧化物半导体粒子11a。氧化物半导体粒子11a具有粒径分布如下:具有位于粒径未满1 m之范围之第1峰値、与位于粒径超过1 m之范围之第2峰値。