奈米结构图案之制造方法

摘要

本发明系有关一种在基板上形成奈米结构图案之方法。其步骤包含提供基板及以功能性材料涂布基板而形成功能性材料层。在功能性材料上涂布至少A聚合物链与B聚合物链之嵌段共聚物以形成共聚物层。使嵌段共聚物乾燥以形成有序奈米区块。移除经乾燥之嵌段共聚物的A聚合物链以形成孔洞,然后再自已移除A聚合物链之处移除功能性材料。