P型氧化锌薄膜制造方法及系统

摘要

本发明系有关一种P型氧化锌薄膜制造方法及系统,其主要是利用射频磁控共溅镀系统,藉以简化制程,并以氧化锌以及氮化铝为共溅镀靶材,藉由改变施加在氧化锌及氮化铝靶材之射频功率,以制作并控制具有不同浓度的铝+氮共掺杂之氧化锌薄膜,以利氮原子在氧化锌薄膜中的掺杂作用,并采用高温制程或后续热处理制程,藉以活化掺杂材料的原子成为较佳的受体或施体离子,进而可供制成具有不同电洞浓度之p型氧化锌薄膜。