退火装置及退火方法

摘要

退火装置系对被处理体照射光以使被处理体进行退火的退火装置。退火装置具备:收容上述被处理体的处理容器;具有对被处理体照射光之复数LED元件的加热源;与上述复数LED元件连接且供电至上述LED元件的供电装置;将上述LED元件冷却的冷却装置;和设置于上述处理容器与上述加热源之间的光透过构件。上述LED元件系由GaAs系材料所构成。上述加热源的上述LED元件系一边藉由上述冷却装置进行冷却,一边藉由上述供电装置进行高电流驱动,依此,构成以高的光输出力照射光。