一种多功能奈米探针介面结构及制作方法

摘要

一种新颖多功能奈米探针介面,以应用于各式神经组织刺激及侦测。此奈米探针介面结构包括包覆薄绝缘层的奈米碳管、微电极基座阵列、及感测与刺激神经细胞之控制晶片。微电极基座阵列具有导线连接奈米碳管与控制晶片,及微流通道以供给维持神经组织健康之养分及药剂。奈米碳管则配置于矽微电极基座阵列,并包覆薄绝缘层于外壁,做为刺激与纪录神经组织的奈米探针。