发明名称 High resistance silicon wafer and method for production thereof
摘要
申请公布号 KR100829767(B1) 申请公布日期 2008.05.16
申请号 KR20047017217 申请日期 2003.04.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;H01L21/26 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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