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发明名称
Greifvorrichtung zur Handhabung von Wafern.
摘要
申请公布号
CH697146(A5)
申请公布日期
2008.05.15
申请号
CH19960002458
申请日期
1996.10.09
申请人
TEC-SEM AG
发明人
BALG CHRISTIAN;STRASSER BERNHARD;BLATTNER JAKOB
分类号
H01L21/677;H01L21/687
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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