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发明名称 VERDAMPFERVORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT392492(T) 申请公布日期 2008.05.15
申请号 AT20050016832T 申请日期 2005.08.03
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 KLEMM, GUENTER;BENDER, MARCUS;ENGLERT, ULRICH;KLOEPPEL, ANDREAS;HOFFMANN, UWE;LOTZ, HANS-GEORG;HEIN, STEFAN;KELLER, STEFAN
分类号 C23C14/24;H05B3/60 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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