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发明名称 MIKROSKOPISCHES ABBILDUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR EMULATION EINES HOCHAPERTURIGEN ABBILDUNGSSYSTEMS, INSBESONDERE ZUR MASKENINSPEKTION
摘要
申请公布号 AT392639(T) 申请公布日期 2008.05.15
申请号 AT20050014397T 申请日期 2005.07.02
申请人 CARL ZEISS SMS GMBH 发明人 HARNISCH, WOLFGANG;SCHUSTER, KARL-HEINZ;SCHERUEBL, THOMAS;GREIF-WUESTENBECKER, JOERN;ROSENKRANZ, NORBERT;TOTZECK, MICHAEL;STROESSNER, ULRICH;FELDMANN, HEIKO;GRUNER, TORALF
分类号 G02B21/00;G02B5/30;G03F7/20 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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