发明名称 |
HOCHFESTE, CHEMISCH BESTÄNDIGE LAMINARFOLIE MIT BEGRENZTEN EXTRAKTIONSFÄHIGEN STOFFEN |
摘要 |
<p>A chemically resistant, extractable free, composite laminar film including polyimide, PFA and m-PTFE layers.</p> |
申请公布号 |
DE60225928(D1) |
申请公布日期 |
2008.05.15 |
申请号 |
DE2002625928 |
申请日期 |
2002.09.18 |
申请人 |
ENTEGRIS INC.;YODOGAWA HU-TECH CO. LTD. |
发明人 |
HASHIMOTO, YUKIO;OGAWA, TSUTOMU;AMARI, MUTSUHIRO |
分类号 |
B32B27/06;B32B27/30;B32B27/00;B32B27/08;B32B27/28;B32B27/34;B32B37/04;B32B37/08;B32B37/24;B32B37/26 |
主分类号 |
B32B27/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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