气体流量校准的方法

摘要

本发明公开了一种气体流量校准的方法，用于对反应室的供气系统的气体流量进行校验，包括步骤：当供气系统新安装气体流量控制装置MFC时，首先测定系统的固有误差Es，及反应室体积Vc、供气管路体积Vg；MFC用过一段时间后，参照Es、Vc、Vg并考虑反应室与供气管路的温度差异，测定MFC的流量误差Em；然后，将Em的值与限定的容错值比较，当Em的值超过限定的容错值时，系统报警。减少了因温度和容积差异导致的系统误差，通过误差修正，降低系统误差，具有计算精度高，计算速度快，配置方便灵活的特点。主要应用于对半导体加工设备的供气系统的气体流量的校准，也适用于对其它供气系统的校准。

主权项

1.一种气体流量校准的方法，用于对反应室的供气系统的气体流量进行校验，所述供气系统的供气管路上设有气体流量控制装置MFC，其特征在于，包括以下步骤：A、所述供气系统新安装MFC时，首先测定系统的固有误差Es，所述新安装的MFC的流量误差Em＝0，测定的方法是：通过新安装MFC的供气管路向反应室供气，测定供气管路与反应室内气体参数的变化，通过理想气体状态方程PV＝nRT计算气体的流量Qv；将Qv与MFC的设定流量值Qs比较，得出MFC的误差$E=\frac{Q_v-Q_s}{Q_s};$ 由公式E＝Es+Em 可求系统的固有误差Es＝E；B、MFC用过一段时间后，测定MFC的流量误差Em，测定的方法是：通过装有需测定的MFC的供气管路向反应室供气，测定供气管路与反应室内气体参数的变化，通过理想气体状态方程PV＝nRT计算气体的流量Qv；将Qv与MFC的设定流量值Qs比较，得出MFC的误差$E=\frac{Q_v-Q_s}{Q_s};$ 由公式E＝Es+Em 可求MFC的流量误差Em＝E-Es；C、将Em的值与限定的容错值比较，当Em的值超过限定的容错值时，系统报警。