| 发明名称 |
薄膜晶体管基板 |
| 摘要 |
本发明提供一种薄膜晶体管基板，其包括一基底，多条栅极/栅极线。该栅极/栅极线为设置于该基底上的一多层结构，该多层结构为从基底依序设置的一附着层、一导电层和一阻障层。其中，该附着层的材料为氧化铝(Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)或二氧化锆(ZrO<SUB>2</SUB>)。 |
| 申请公布号 |
CN101179080A |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
| 申请号 |
CN200610063583.8 |
申请日期 |
2006.11.10 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
颜硕廷 |
| 分类号 |
H01L27/12(2006.01);H01L23/532(2006.01);H01L29/49(2006.01);H01L29/78(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种薄膜晶体管基板，其包括一基底、多条栅极/栅极线，该栅极/栅极线为设置在该基底上的一多层结构，该多层结构为依序设置的一附着层、一导电层和一阻障层，其特征在于：该附着层的材料为氧化铝或二氧化锆。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
