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发明名称
Vernevelaar voor het vernevelen van een doteringsoplossing en een werkwijze voor het behandelen van een substraat.
摘要
申请公布号
NL1032854(C2)
申请公布日期
2008.05.14
申请号
NL20061032854
申请日期
2006.11.13
申请人
OTB GROUP B.V.
发明人
CORNELIUS HENDRIK KANT;MARTIN DINANT BIJKER
分类号
B05B7/00;H01L21/18
主分类号
B05B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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