单腔双振子压电泵

摘要

本发明涉及一种单腔双振子压电泵，属于微电子流体机械领域。上盖与下盖中间固定连接泵体，进口管和出口管分别与泵体进水口和出水口固定连接，泵腔的前部固定连接泵腔驱动压电振子一，在泵腔进水口处固定连接单向被动阀一或主动阀一，其特征在于：在该泵腔的后部固定连接泵腔驱动压电振子二，在泵腔出水口处固定连接单向被动阀二或主动阀二。优点在于压电振子具有响应快速、无电磁干扰等优点，使得泵腔中两驱动振子动作保持协调一致，增大了输出流量，提高了压电泵的输出性能。

主权项

1.一种单腔双振子压电泵，上盖与下盖中间固定连接泵体，进口管和出口管分别与泵体进水口和出水口固定连接，泵腔的前部固定连接泵腔驱动压电振子一，在泵腔进水口处固定连接单向被动阀一或主动阀一，其特征在于：在该泵腔的后部固定连接泵腔驱动压电振子二，在泵腔出水口处固定连接单向被动阀二或主动阀二。