三棱镜高度激光非接触检测方法及装置

摘要

三棱镜高度激光非接触检测方法及装置属于光学零件尺寸检测及激光应用技术领域。现有技术采用人工、接触检测方法测量，损伤工件，精度低，效率低；而现有激光扫描尺寸检测方法和装置都无法检测透明三棱镜高度的检测。本发明将三棱镜作为激光扫描尺寸检测方法的被测工件，并限定三棱镜的摆放姿态；在检测装置中加入一块遮光板，解决了透过被测工件的折射光对检测过程的干扰。实现了三棱镜高度的激光非接触检测，同时克服了人工、接触检测方法的不足，检测精度可达±2μm(3.000～9.999mm)，或者±5μm(10.000～20,000mm)。本发明主要用于光学三棱镜高度的在线非接触检测。

主权项

1.一种三棱镜高度激光非接触检测方法，扫描光平行分布在一个平面上，形成一个检测光带，其特征在于，被测工件是一种三棱镜(8)，它相对于扫描光来说是透明的，三棱镜(8)的轴线垂直于检测光带所在平面，且底面与检测光带中的扫描光平行，检测项目为三棱镜(8)的高，在检测过程中，需要在三棱镜(8)和接收透镜(6)之间放置一块遮光板(9)，以遮挡透过三棱镜(8)的折射光。