用于半导体制造中的真空吸嘴装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体制造中的真空吸嘴装置，其通过一橡胶吸嘴密封地套接到一吸嘴杆上装配而成，吸嘴杆的一端连接摆臂，另一端伸向橡胶吸嘴内形成密封套接，通过在吸嘴杆上设两突起，而在橡胶吸嘴内相应位置处设置引导突起的凹槽，及在该凹槽下端设置容置突起的空间，使突起卡合在这一空间里以锁紧吸嘴，避免其在清理时脱落。该真空吸嘴装置可广泛应用于半导体器件制备过程中。

主权项

1.一种用于半导体制造中的真空吸嘴装置，其通过一橡胶吸嘴密封地套接到一吸嘴杆上装配而成，所述吸嘴杆的一端连接摆臂，另一端伸向橡胶吸嘴内形成密封套接，所述橡胶吸嘴一端为圆锥体部分，另一端为与所述吸嘴杆套接的圆柱体部分，其特征在于：所述伸向橡胶吸嘴内的吸嘴杆部分顶端有一凸台(30)，其下为一圆柱体(32)，所述圆柱体侧面对称设置有两突起(35)，所述橡胶吸嘴内设有供所述圆柱体(32)密封容置的圆柱孔(11)，在所述圆柱孔(11)的两侧对称设置有引导所述突起的两凹槽(15)，所述圆柱孔(11)和所述圆柱体(32)相配合，所述突起(35)和所述凹槽(15)在径向相配合，且在橡胶吸嘴内所述凹槽下端设有一圆柱孔(12)，所述圆柱孔(12)的半径为所述圆柱孔(11)的半径和所述一个凹槽(15)的深度之和，用于容置所述两突起(35)和突起所在部分圆柱体(32)，装设时使吸嘴杆上的所述突起(35)卡合在橡胶吸嘴的所述容置突起的圆柱孔(12)中，所述圆柱孔(12)下有一与所述凸台(30)相配合的圆柱孔(13)。