发明名称 | 一种俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具 | ||
摘要 | 本实用新型揭示了一种用于俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具,包括样品槽、顶杆和自动复位装置,所述顶杆的一端与该自动复位装置相对固定;顶杆受到所述自动复位装置朝向样品槽的力,使其另一端可活动的顶住样品槽。本实用新型实现了单人快速轻易的将样品固定,可同时放置多个样品,且所述自动复位装置的弹簧简单易拆,使用、更换方便。 | ||
申请公布号 | CN201060174Y | 申请公布日期 | 2008.05.14 |
申请号 | CN200720069735.5 | 申请日期 | 2007.05.11 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 苏婕;王俊杰;李明;段淑卿 |
分类号 | G01N23/227(2006.01) | 主分类号 | G01N23/227(2006.01) |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
主权项 | 1.一种用于俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具,包括样品槽、顶杆,其特征在于:其还包括自动复位装置,所述顶杆的一端与该自动复位装置相对固定;顶杆受到所述自动复位装置朝向样品槽的力,使其另一端可活动地顶住样品槽。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 |