发明名称 一种俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具
摘要 本实用新型揭示了一种用于俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具,包括样品槽、顶杆和自动复位装置,所述顶杆的一端与该自动复位装置相对固定;顶杆受到所述自动复位装置朝向样品槽的力,使其另一端可活动的顶住样品槽。本实用新型实现了单人快速轻易的将样品固定,可同时放置多个样品,且所述自动复位装置的弹簧简单易拆,使用、更换方便。
申请公布号 CN201060174Y 申请公布日期 2008.05.14
申请号 CN200720069735.5 申请日期 2007.05.11
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 苏婕;王俊杰;李明;段淑卿
分类号 G01N23/227(2006.01) 主分类号 G01N23/227(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁
主权项 1.一种用于俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具,包括样品槽、顶杆,其特征在于:其还包括自动复位装置,所述顶杆的一端与该自动复位装置相对固定;顶杆受到所述自动复位装置朝向样品槽的力,使其另一端可活动地顶住样品槽。
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