发明名称 半导体装置中的散热系统及方法
摘要 本发明涉及一种于半导体装置中散热的方法及系统。于一实施例中,一种集成电路半导体装置包含一半导体衬底;一个或多个连接于该半导体衬底的冶金层,其中该一个或多个冶金层中的每一个具有:一条或多条导线及在该一条或多条导线间的一个或多个仿结构,并且一个或多个仿结构中的至少二者经连接;以及一个或多个介电层,位于该一个或多个冶金层之间。
申请公布号 CN100388494C 申请公布日期 2008.05.14
申请号 CN200510055825.4 申请日期 2005.03.16
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈宪伟;叶俊麟;郑心圃;郑义荣
分类号 H01L27/04(2006.01);H01L23/52(2006.01);H01L23/34(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/3205(2006.01) 主分类号 H01L27/04(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 张龙哺;郑特强
主权项 1.一种集成电路半导体装置,其包含:一半导体衬底;一个或多个连接于该半导体衬底的冶金层,其中该一个或多个冶金层中的每一个具有一条或多条导线,且在该一条或多条导线间具有一个或多个仿结构,其中来自不同冶金层的该一个或多个仿结构中的至少二者经热连接;以及一个或多个介电层,位于该一个或多个冶金层之间。
地址 台湾省新竹市新竹科学工业园区新竹市力行六路八号