发明名称 |
半导体装置中的散热系统及方法 |
摘要 |
本发明涉及一种于半导体装置中散热的方法及系统。于一实施例中,一种集成电路半导体装置包含一半导体衬底;一个或多个连接于该半导体衬底的冶金层,其中该一个或多个冶金层中的每一个具有:一条或多条导线及在该一条或多条导线间的一个或多个仿结构,并且一个或多个仿结构中的至少二者经连接;以及一个或多个介电层,位于该一个或多个冶金层之间。 |
申请公布号 |
CN100388494C |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200510055825.4 |
申请日期 |
2005.03.16 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
陈宪伟;叶俊麟;郑心圃;郑义荣 |
分类号 |
H01L27/04(2006.01);H01L23/52(2006.01);H01L23/34(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/3205(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/04(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张龙哺;郑特强 |
主权项 |
1.一种集成电路半导体装置,其包含:一半导体衬底;一个或多个连接于该半导体衬底的冶金层,其中该一个或多个冶金层中的每一个具有一条或多条导线,且在该一条或多条导线间具有一个或多个仿结构,其中来自不同冶金层的该一个或多个仿结构中的至少二者经热连接;以及一个或多个介电层,位于该一个或多个冶金层之间。 |
地址 |
台湾省新竹市新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 |