发明名称 |
提高叠层微器件镍或镍合金铸层间结合强度的方法 |
摘要 |
一种提高叠层微器件镍或镍合金铸层间结合强度的方法,在第一层镍铸层上,再电铸镍时,第一层镍层必须经过活化—交流过渡镀处理。阴阳极交替刻蚀处理时,阳极电流密度是阴极电流密度的2~5倍,阳极电流密度3~7A/dm<SUP>2</SUP>,交替脉冲周期1~20ms,刻蚀时间3~7min。阴阳极交替活化处理时,阴极电流密度和阳极电流密度相同3~7A/dm<SUP>2</SUP>,且交替脉冲周期1~100ms,活化时间5~10min。阴阳极交流过渡镀处理时,阴极电流密度直不变,逐步降低阳极电流密度值到原值的1/5,然后转成正常的直流电镀。本发明克服了以往技术无法解决的问题,叠层间结合强度可达15~25kg/mm<SUP>2</SUP>。断面处层间界线不清已有机地溶为一体。 |
申请公布号 |
CN100387756C |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200510024929.9 |
申请日期 |
2005.04.07 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
汪红;赵小林;丁桂甫;陈迪;王志民 |
分类号 |
C25D1/00(2006.01);C25D5/14(2006.01);C25D5/34(2006.01);B81C5/00(2006.01) |
主分类号 |
C25D1/00(2006.01) |
代理机构 |
上海交达专利事务所 |
代理人 |
王锡麟;王桂忠 |
主权项 |
1.一种提高叠层微器件镍或镍合金铸层间结合强度的方法,其特征在于,在第一层镍铸层上,再电铸镍时,第一层镍层必须经过活化-交流过渡镀处理;具体步骤为:步骤①阴阳极交替刻蚀处理;步骤②阴阳极交替活化处理;步骤③阴阳极交流过渡镀处理。 |
地址 |
200240上海市闵行区东川路800号 |