发明名称 提高叠层微器件镍或镍合金铸层间结合强度的方法
摘要 一种提高叠层微器件镍或镍合金铸层间结合强度的方法,在第一层镍铸层上,再电铸镍时,第一层镍层必须经过活化—交流过渡镀处理。阴阳极交替刻蚀处理时,阳极电流密度是阴极电流密度的2~5倍,阳极电流密度3~7A/dm<SUP>2</SUP>,交替脉冲周期1~20ms,刻蚀时间3~7min。阴阳极交替活化处理时,阴极电流密度和阳极电流密度相同3~7A/dm<SUP>2</SUP>,且交替脉冲周期1~100ms,活化时间5~10min。阴阳极交流过渡镀处理时,阴极电流密度直不变,逐步降低阳极电流密度值到原值的1/5,然后转成正常的直流电镀。本发明克服了以往技术无法解决的问题,叠层间结合强度可达15~25kg/mm<SUP>2</SUP>。断面处层间界线不清已有机地溶为一体。
申请公布号 CN100387756C 申请公布日期 2008.05.14
申请号 CN200510024929.9 申请日期 2005.04.07
申请人 上海交通大学 发明人 汪红;赵小林;丁桂甫;陈迪;王志民
分类号 C25D1/00(2006.01);C25D5/14(2006.01);C25D5/34(2006.01);B81C5/00(2006.01) 主分类号 C25D1/00(2006.01)
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 王锡麟;王桂忠
主权项 1.一种提高叠层微器件镍或镍合金铸层间结合强度的方法,其特征在于,在第一层镍铸层上,再电铸镍时,第一层镍层必须经过活化-交流过渡镀处理;具体步骤为:步骤①阴阳极交替刻蚀处理;步骤②阴阳极交替活化处理;步骤③阴阳极交流过渡镀处理。
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